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现在为止特气供气的方法，险些都是以钢瓶的方法举行。一样平常常用的为高压钢瓶，其气体特征有分为气态和液态两种。一样平常气体以液态贮存于钢瓶内，其优点为供气压力低于一个大气压，无任何走漏的危险，且供宇量为通俗高压钢瓶的10倍，低蒸汽压的气体以液态贮存于钢瓶内。针对易燃易爆，有毒性侵蚀性的气体，将钢瓶放于特柜中，再通过管路将气体供应至现场周围的阀箱，经由一系列的控制此后进入用气点。一样平常惰性气体以开放式的气瓶架和阀盘供应。

电子特气管道高纯气体管路的设计要点

1.关于差别特征的气体，要妄想自力的供应区域，一样平常分为三个区：侵蚀性/毒性气体区、可燃性气体区、惰性气体区，将相同性子的气体集中增强管理，可燃性气体区要特殊妄想防爆墙与走漏口，若空间缺乏，可思量将惰性气体安排与毒性/侵蚀性气体区。

2.管路设计需要思量运送的距离，距离越长，本钱越高，危害也越高，通常较合理的设计流速为20ml/S，可燃性气体小于10ml/S,毒性/侵蚀性气体小于8ml/S，在用量设计方面，则需要思量使用点的压力和管径巨细，前者与气体特征有关，后者使用点的管径一样平常为1/4”～3/8”。

3.凭证用气装备的漫衍情形，高纯气体的管网不宜过大或者过长；接纳不关闭的环形管路，在系统最后一连一直排放少量的气体，以便在管网中总有高纯气体流通，不会爆发“死空间”引起高纯气体的污染。

4.管路中应镌汰不流动气体的“死空间”，设计不应有盲管，在特种气体的储气瓶与用气装备之间应设置吹扫控制装置、多阀门控制装置、用以控制各个阀门的开关顺序、系统吹除，以确保供气系统的清静、可靠运行和避免“死区”形成而滞留污染物，降低气体纯度。

5.关于高纯气体纯度要求差别的用气装备，可接纳分品级高纯气体运送系统；也可接纳同品级运送系统，可是在纯度要求高的用气装备相近处需设最后气体提纯装置。

6.为了检测高纯气体的纯度和杂质含量，运送系统除了设置须要的一连检测仪器，如权衡水含量或者氧杂质含量中剖析仪外，还应设置按期取样用的检测采样口，以便按划准时间举行采样，剖析高纯气体中种种杂质的含量。

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